Wafer ıslak işlem tesisi
Robotechnik Europe OPTIwet ST30

Name: Robotechnik Europe OPTIwet ST30
Brand: Robotechnik Europe
Availability: InStock

Durumu

Kullanılmış

Konum

Almanya

Wafer ıslak işlem tesisi Robotechnik Europe OPTIwet ST30

Haritayı göster

Makineye ait bilgiler

Makine tanımı:: Wafer ıslak işlem tesisi

Makine üreticisi:: Robotechnik Europe

Model:: OPTIwet ST30

Durumu:: işlem için hazır (kullanılmış)

Fiyat ve Konum

Konum:: Deutschland

Ara

Teklif detayları

Listeleme kimliği:: A206-18495

Referans no.:: INNO30389

Son güncelleme tarihi:: 26.11.2025

Açıklama

12 inçe kadar waferler, X/Y 9 inç/9 inç'e kadar substratlar için ıslak kimyasal işlem tesisi, bağımsız kabin, proses modülleri, PP işlem odası, 2 programlanabilir ortam kolu, devir hızı 1-4000 d/dk, hızlanma rampası 1-3000 d/dk, dönüş süresi 1-999 sn, proses haznesi egzozu 2x DN110, oda 2x DN110, kabin 1x DN110, kontrol 1x DN110 (her biri 200 m³/h), CDA 8+/-2 bar, vakum -0,8+/-0,2 bar, azot 4,0+/-0,5 bar, 3 ortam tahliyesi, 2 konsantre atık için atık kutusu, basınçlı tanklı reaktif kutusu, 4 Julabo termostat banyosu. Tesis söküm sırasında demonte edilmiştir. İnceleme randevu ile mümkündür.
Nwedpfxexzii Us Ag Eep

Bu ilan otomatik olarak tercüme edildiğinden bazı çeviri hataları oluşmuş olabilir.